Sistema para el control en lazo cerrado de la temperatura ...
PFC Introducción - 8 - 1.3.2 Fabricación 1.3.2.1 Fabricación del micro-hotplate El integrado de micro-hotplates con series de cuatro microsensores son fabricados en obleas de doble cara pulida, con sustratos de Si tipo P <1 0 0>, de 300 µm de espesor